價格
電議
型號
KT
品牌
鄭州科探儀器設(shè)備有限公司
所在地
鄭州市
更新時間
2023-08-05 08:46:01
瀏覽次數(shù)
次
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京公網(wǎng)安備 11010802023672號
探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本
該探針臺的承片臺X/Y/Z三個方向均可在真空環(huán)境下調(diào)節(jié)，其中X方向調(diào)節(jié)范圍：0－30mm；y方向調(diào)節(jié)范圍：0－13mm；z方向調(diào)節(jié)范圍：0－13mm；用戶可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上，再微調(diào)探針支架X/Y/Z 方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對準(zhǔn)檢測點后，即可進(jìn)行檢測
實驗腔體
腔體材質(zhì)
304不銹鋼
上蓋開啟
鉸鏈側(cè)開
內(nèi)腔體尺寸
φ140x180
加熱臺材質(zhì)
304不銹鋼
觀察窗尺寸
φ75
加熱臺尺寸
50x50
加熱臺溫度
室溫-350℃可調(diào)
加熱臺溫控誤差
±1℃
真空度
機(jī)械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
真空抽氣口
KF25
氣體進(jìn)氣口
3mm-6mm卡套接頭
進(jìn)氣閥門
高精密針閥
抽氣閥門
KF25真空擋板閥
壓力表
機(jī)械壓力表 -0.1-0.15mpa
信號電極
4個
探針數(shù)量
4個
探針材質(zhì)
φ1.5鎢針 其他材質(zhì)可選
探針移動平臺
X軸移動行程
30mm ±15mm
X軸控制精度
≤0.1MM
Y軸移動行程
13MM ±6.5mm
Y軸控制精度
≤0.05MM
Z軸移動行程
13mm ±6.5mm
Z軸控制精度
≤0.05MM
信號電極
電極芯
1芯
電極引出接頭
BNC母頭
電極引出線
銅網(wǎng)信號屏蔽線
BNC引出接頭
X4
額定電流
≤5A
額定電壓
≤220V
電極芯直徑
φ1mm
接觸電阻
≤5MΩ
絕緣電阻
≥1000 MΩ
外殼接地
是
電子顯微鏡
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