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LaserHoloscale(

激光全息光柵尺)

549系列—高精度型

激光全息光柵尺是一個(gè)采用衍射射束干涉的高端DRO 系統(tǒng)，可確保在寬測(cè)量范圍內(nèi)具備很高的測(cè)量精度和重復(fù)精度。

特點(diǎn)

全息攝影在光柵尺上記錄精細(xì)光柵衍射。

0.001μm 的高分辨率確保接近激光干涉儀水平的高精度測(cè)量。

的測(cè)量穩(wěn)定性- 小型探測(cè)系統(tǒng)具有很強(qiáng)的防不適環(huán)境能力，比如溫度和空氣壓力的變化。

光源為小型半導(dǎo)體激光，易于安裝和調(diào)整。