山西省臨汾市電子廠無塵車間潔凈等級標準 報告--安衡檢測

隨著科學技術(shù)的發(fā)展，各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)發(fā)展迅速。現(xiàn)代電子產(chǎn)品要求微型化、精密化、高純度、高質(zhì)量和高可靠性，電子產(chǎn)品本身使用的集成電路、電子元器件的生產(chǎn)過程都要求在受控的環(huán)境下進行操作，受控參數(shù)涉及微粒、化學污染物等與產(chǎn)品生產(chǎn)過程接觸的各種介質(zhì)。電子廠房內(nèi)氣流組織依據(jù)氣流流型可劃分為單向流、非單向流和混合流三種形式。

照度：室內(nèi)照度的檢測應(yīng)為測定出局部照明之外的一般照明的照度，室內(nèi)照度的檢測可采用便攜式照度計，照度計的小刻度不應(yīng)大于2lx。室內(nèi)照度必須在室溫趨于穩(wěn)定之后進行，并且熒光燈已有100h以上的使用期，檢測前已點燃15min以上，白熾燈已有10h以上的使用期，檢測前已點燃5min以上。測點距地面高0.8m，按1m~2m間距布點，30m2以內(nèi)的房間測點距墻面0.5m，過30m2的房間，測點離墻1m。

電子廠無塵車間潔凈等級標準  4、電子制造業(yè)萬級潔凈室新風量取下列兩項中較大值：(1)補償維持室內(nèi)正壓值所需的室內(nèi)排風量和新風量之和。(2)潔凈室每人每小時新風量不應(yīng)少于40立方米。(3)電子制造行業(yè)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)的加熱器應(yīng)設(shè)有新風和溫斷電保護。如果采用點加濕方式，則無需設(shè)置水保護。在寒冷地區(qū)，新風系統(tǒng)應(yīng)有防凍保護措施。

因為凈化工程的檢測主要關(guān)注兩種粒徑，即0.5um和5um。等速采樣對≤0.5um的顆粒影響不大。如果采樣空氣用于計算大于或等于 0.5um 的粒徑濃度，如果這些粒子不受等速條件的影響，則計算結(jié)果不受影響。因此潔凈室區(qū)域非等速采樣只對大于等于0.5um的顆粒有意義。

在確認級別時，應(yīng)當使用采樣管較短的便攜式塵埃粒子計數(shù)器，避免≥5.0μm懸浮粒子在遠程采樣系統(tǒng)的長采樣管中沉降。在單向流系統(tǒng)中，應(yīng)當采用等動力學的取樣頭。

隨著科學技術(shù)的發(fā)展，各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)發(fā)展迅速?，F(xiàn)代電子產(chǎn)品要求微型化、精密化、高純度、高質(zhì)量和高可靠性，電子產(chǎn)品本身使用的集成電路、電子元器件的生產(chǎn)過程都要求在受控的環(huán)境下進行操作，受控參數(shù)涉及微粒、化學污染物等與產(chǎn)品生產(chǎn)過程接觸的各種介質(zhì)。電子廠房內(nèi)氣流組織依據(jù)氣流流型可劃分為單向流、非單向流和混合流三種形式。

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