庫號：D399592

一. 產(chǎn)品特點

1. 旋轉(zhuǎn)電機(jī)采用為勻膠機(jī)設(shè)計的高速伺服電機(jī)，具有高精度、高穩(wěn)定性、高性。

2. 旋轉(zhuǎn)加速性能，大旋轉(zhuǎn)加速度*可達(dá) 40000rpm/s。

3. 真空系統(tǒng)采用雙重唇口式密封，緊密貼合包裹旋轉(zhuǎn)軸，吸片牢固，不掉片。

4. 兩項互鎖功能：

1) 勻膠腔體具有開啟、關(guān)閉的檢測功能，確保腔體關(guān)閉后才可啟動；

2) 真空吸片具有真空檢測功能，若發(fā)生真空泄漏，則立即停止運行，確保吸片牢固。

5. 機(jī)身外殼采用 SUS304 不銹鋼制作，表面鍍鈦，防腐蝕、不生銹、易清潔。

6. 勻膠腔體采用德國勞士領(lǐng) NPP 材料，經(jīng) CNC 一體加工成型。接儲脫離基片的膠液，避免進(jìn)入

真空管路和設(shè)備內(nèi)部。耐腐蝕、易清潔。

7. 勻膠機(jī)涂膜腔體內(nèi)有廢液排出孔。在涂膜過程中接儲脫離基片的廢液，并從排液孔排出。

8. 樣品臺采用德國勞士領(lǐng) NPP 材料，經(jīng) CNC 一體加工成型。耐高溫、耐腐蝕、不變形。

9. 勻膠過程全自動分段程序控制。整個勻膠過程多可分十步進(jìn)行，每步的加速時間、旋轉(zhuǎn)速度、

勻膠時間均可控制、連續(xù)可調(diào)?？蓛Υ?30 組工藝程序，隨時調(diào)用。

10. 7英寸液晶觸摸屏使控制方便；運行狀態(tài)及各項參數(shù)實時顯示，直觀了解勻膠進(jìn)程；

11. 真空泵的開啟與關(guān)閉均為自動程序控制，無需手動操作。

12. 旋轉(zhuǎn)前增加預(yù)吸片步驟，“預(yù)吸片時間”多為 99s，確?；喂涛接谛D(zhuǎn)臺后再進(jìn)行旋轉(zhuǎn)涂

膜。勻膠完成后增加解吸片步驟，“解吸片時間”多為 99s，確保停止后再切斷真空，釋放

基片，防止涂膜后的基片滑落，對膜層造成損傷。

13. 標(biāo)配無油真空泵，低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉(zhuǎn)臺，防止飛片。

二. 參數(shù)

型號

參數(shù) SYSC-100C

可鍍膜基片尺寸 圓形 ?5～100mm；方形 5×5～70×70mm

旋轉(zhuǎn)速度 0～10000rpm

轉(zhuǎn)速分辨率 1rpm

速度精度 ＜0.02%

旋涂加速度* 0～40000rpm/s

每步加速時間 0～999.9s

每步旋轉(zhuǎn)時間 0～9999.9s

旋轉(zhuǎn)時間分辨率 0.1s

預(yù)吸片時間 99s

解吸片時間 99s

腔體材料 勞士領(lǐng) NPP 材料

樣品臺材料 勞士領(lǐng) NPP 材料

真空系統(tǒng)密封方式 雙唇口密封裝置

驅(qū)動電機(jī)類型 工業(yè)級高速伺服電機(jī)

內(nèi)置程序 50 組內(nèi)置程序

旋轉(zhuǎn)控制方式 分步編程控制

保護(hù) 腔體開關(guān)互鎖以及真空壓力檢測保護(hù)

膠液排出通道 腔體底部膠液排出孔

真空泵開關(guān)方式 自動程序控制

電機(jī)保護(hù) “WALL”構(gòu)造防膠液浸入電機(jī)

一. 產(chǎn)品特點

1. 旋轉(zhuǎn)電機(jī)采用為勻膠機(jī)設(shè)計的高速伺服電機(jī)，具有高精度、高穩(wěn)定性、高性。

2. 旋轉(zhuǎn)加速性能，大旋轉(zhuǎn)加速度*可達(dá) 40000rpm/s。

3. 真空系統(tǒng)采用雙重唇口式密封，緊密貼合包裹旋轉(zhuǎn)軸，吸片牢固，不掉片。

4. 兩項互鎖功能：

1) 勻膠腔體具有開啟、關(guān)閉的檢測功能，確保腔體關(guān)閉后才可啟動；

2) 真空吸片具有真空檢測功能，若發(fā)生真空泄漏，則立即停止運行，確保吸片牢固。

5. 機(jī)身外殼采用 SUS304 不銹鋼制作，表面鍍鈦，防腐蝕、不生銹、易清潔。

6. 勻膠腔體采用德國勞士領(lǐng) NPP 材料，經(jīng) CNC 一體加工成型。接儲脫離基片的膠液，避免進(jìn)入

真空管路和設(shè)備內(nèi)部。耐腐蝕、易清潔。

7. 勻膠機(jī)涂膜腔體內(nèi)有廢液排出孔。在涂膜過程中接儲脫離基片的廢液，并從排液孔排出。

8. 樣品臺采用德國勞士領(lǐng) NPP 材料，經(jīng) CNC 一體加工成型。耐高溫、耐腐蝕、不變形。

9. 勻膠過程全自動分段程序控制。整個勻膠過程多可分十步進(jìn)行，每步的加速時間、旋轉(zhuǎn)速度、

勻膠時間均可控制、連續(xù)可調(diào)?？蓛Υ?30 組工藝程序，隨時調(diào)用。

10. 7英寸液晶觸摸屏使控制方便；運行狀態(tài)及各項參數(shù)實時顯示，直觀了解勻膠進(jìn)程；

11. 真空泵的開啟與關(guān)閉均為自動程序控制，無需手動操作。

12. 旋轉(zhuǎn)前增加預(yù)吸片步驟，“預(yù)吸片時間”多為 99s，確?；喂涛接谛D(zhuǎn)臺后再進(jìn)行旋轉(zhuǎn)涂

膜。勻膠完成后增加解吸片步驟，“解吸片時間”多為 99s，確保停止后再切斷真空，釋放

基片，防止涂膜后的基片滑落，對膜層造成損傷。

13. 標(biāo)配無油真空泵，低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉(zhuǎn)臺，防止飛片。

二. 參數(shù)

型號

參數(shù) SYSC-100C

可鍍膜基片尺寸 圓形 ?5～100mm；方形 5×5～70×70mm

旋轉(zhuǎn)速度 0～10000rpm

轉(zhuǎn)速分辨率 1rpm

速度精度 ＜0.02%

旋涂加速度* 0～40000rpm/s

每步加速時間 0～999.9s

每步旋轉(zhuǎn)時間 0～9999.9s

旋轉(zhuǎn)時間分辨率 0.1s

預(yù)吸片時間 99s

解吸片時間 99s

腔體材料 勞士領(lǐng) NPP 材料

樣品臺材料 勞士領(lǐng) NPP 材料

真空系統(tǒng)密封方式 雙唇口密封裝置

驅(qū)動電機(jī)類型 工業(yè)級高速伺服電機(jī)

內(nèi)置程序 50 組內(nèi)置程序

旋轉(zhuǎn)控制方式 分步編程控制

保護(hù) 腔體開關(guān)互鎖以及真空壓力檢測保護(hù)

膠液排出通道 腔體底部膠液排出孔

真空泵開關(guān)方式 自動程序控制

電機(jī)保護(hù) “WALL”構(gòu)造防膠液浸入電機(jī)