庫號：D407314   

RTS-9 型雙電測四探針測試儀 采用了四探針雙電測組合(亦稱雙位組合)測量新,將范德堡測

量方法推廣應用到直線四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換，在計算機控制下進行兩次電測量，把

采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加與分析，能自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等

因素對測量結果的影響。因而每次測量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于

每次測量都是對幾何因素的影響進行動態(tài)的自動修正，因此降低了幾何因素影響，從而提高了測量

結果的準確度。所有這些，用目前大量使用的常規(guī)四探針測量方法所的儀器是無法實現(xiàn)的。

儀器采用了電子進行設計、裝配。具有功能直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、

穩(wěn)定性好、結構緊湊、易操作等特點。

本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等校對半導體材料的電阻性能測試。

RTS-9 型雙電測四探針軟件測試系統(tǒng) 是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序。測

試程序在計算機與 RTS-9 型四探針測試儀連接的狀態(tài)下，通過計算機的并口實現(xiàn)通訊。

測試程序控制四探針測試儀進行測量并實時采集兩次組合模式下的測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計

算機中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦

中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到 Excel 中，讓用戶對數(shù)據(jù)進行各種

數(shù)據(jù)分析。

是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序。測

試程序在計算機與 RTS-9 型四探針測試儀連接的狀態(tài)下，通過計算機的并口實現(xiàn)通訊。

測試程序控制四探針測試儀進行測量并實時采集兩次組合模式下的測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計

算機中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦

中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到 Excel 中，讓用戶對數(shù)據(jù)進行各種

數(shù)據(jù)分析。

技 術 指 標 ：

測量范圍

電阻率：10 -5 ～10 5 ?.cm( 可擴展) ；

方塊電阻：10 -4 ～10 6 ?/ □ ( 可擴展) ；

電導率：10 -5 ～10 5 s/cm ；

電阻：10 -5 ～10 5 ? ；

可測晶片厚度 ≤3mm

可測晶片直徑

140mmX150mm(配 配 S-2A 型測試臺) ；

200mmX200mm(配 配 S-2B 型測試臺) ；

400mmX500mm(配 配 S-2C 型測試臺) ；

恒流源

電流量程分為 1μA 、10μA 、100μA 、1mA 、10mA 、100mA 六檔，各檔電流

連續(xù)可調

數(shù)字電壓表

量程及表示形式 000.00 ～199.99 mV ；分辨力：10μV ；輸入阻抗＞1000M? ；

精度：±0.1% ；顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、量程自動顯示；

四探針探頭基本指標

間距：1±0.01mm ；針間絕緣電阻：≥1000M? ； 機械游移率：≤0.3 ％；

探針：碳化鎢或高速鋼 Ф0.5mm ；探針壓力：5 ～16 牛頓( 力) ；

模擬電阻測量相對

( 按 按 JJG508-87 進行)

0.01? 、0.1? 、1? 、10? 、100? 、1000? 、10000? ≤0.3 ％±1 字

差 整機測量大相對 ( 用硅標樣片:0.01-180?.cm 測試) ≤±4 ％

度 整機測量標準不確定度 ≤4 ％

測試標準

采用雙電測測試標準，通過 RTS-9 雙電測測試軟件控制四探針測試儀進行測

量并實時采集兩次組合模式下的電壓值，然后根據(jù)雙電測測試原理公式計算

出電阻值。儀器主機也可兼容 RTS-8 四探針測試軟件實現(xiàn)單電測測試標準，

兩套軟件可同時使用。

軟件功能

軟件可記錄、保存、打印每一點的測試數(shù)據(jù)，并統(tǒng)計分析測試數(shù)據(jù)大值、

小值、平均值、大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)

生成直方圖，也可把測試數(shù)據(jù)輸出到 Excel 中，對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析。軟

件還可自動測量功能，根據(jù)樣品電阻大小自動適合電流量程檔測試。

計算機通訊接口 并口，高速并行采集數(shù)據(jù)。

標準使用環(huán)境

溫度：23±2 ℃；

相對濕度：≤65 ％；

無高頻干擾；

無強光直射；