庫號：D406433 

一、設(shè)備用途和特點(diǎn)：



1、用途：主要用微細(xì)加工、半導(dǎo)體、微電子、光電子和納米工藝中在硅片、陶瓷片上勻膠等工藝與光刻、烘烤等設(shè)備配合使用。設(shè)備能滿足各類以下尺寸的基片處理要求，并配制相應(yīng)的托盤夾具。驗(yàn)收除按賣方提供的標(biāo)準(zhǔn)基片外，另外可根據(jù)買方要求的 10mm 的碎片和 4 英寸的晶圓片等驗(yàn)收試驗(yàn)要求。

2、特點(diǎn)：



（1）外觀整潔、美觀，占地面積小，節(jié)省凈間的使用面積；（2）材質(zhì)易于清洗和維護(hù)，設(shè)備結(jié)構(gòu)布局合理，用戶操作、使用、維



修方便；（3）采用成熟、的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)方式，確保設(shè)備工作的性；



（4）設(shè)備具備高性能、低故障率、長使用壽命、易操作維修、造型美觀、售后服務(wù)完備。



二、 設(shè)備配置明細(xì)



設(shè)備具體配置如下



POS. QTY. PART DESCRIPTION

項(xiàng)目號 數(shù)量 部件名稱 描述



1 1 勻膠機(jī)主機(jī) WS?650Mz?23NPPB

勻膠機(jī)主機(jī)

2 1 真空泵 Vacuum Pump Rock300

配套真空泵浦 Rock300



3 1 真空托盤 Spinner Chuck 50~150mm

勻膠托盤 50~150mm



4 1 真空托盤 Spinner Adapter 10~50mm

勻膠轉(zhuǎn)接托盤 10~50mm





5 1 系統(tǒng)附件 含密封圈若干、標(biāo)準(zhǔn)樣片、水平儀、連接管

若干





6 1 操作軟件 Spin 3000 Software

Spin 3000 操作軟件



7 1 安裝文檔 Installation Documents

安裝文檔

三. 設(shè)備資料



勻膠機(jī)臺



1． 系統(tǒng)概述



1.1智能嵌鎖，系統(tǒng)蓋板具有智能嵌鎖裝置，確保操作；



1.2防腐裝置；



1.3*設(shè)有保護(hù)氣體裝置：旋涂過程中對旋轉(zhuǎn)馬達(dá)進(jìn)行氣流保護(hù)；



1.4通信接口，藍(lán)牙連接



2． 處理腔體



2.1處理腔體內(nèi)徑不小于 9.5 英寸 (241 毫米)；



2.2* Wafer 芯片尺寸至少滿足10?150mm 直徑的材料，方片125x125mm，



無需換片托；



2.3腔體具有易清潔的 NPP 天然聚丙烯材質(zhì)；



3． 旋轉(zhuǎn)馬達(dá)



3.1轉(zhuǎn)動速度至少滿足 0?12,000rpm，



3.2旋涂加速度不小于 12,000rpm/sec；



3.3馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能不過±1%；4． 控制系統(tǒng)



4.1工藝時間設(shè)定范圍至少滿足 1?5999.9 sec/step ，精度不過 0.1s；



4.2配有高精度 PLC 可編程的控制器，設(shè)置點(diǎn)精度小于 0.006%；



4.3可存儲不少于 20 個程序段，每個程序段可設(shè)置不少于 51 個不同步驟的速度狀態(tài)；



4.4*分辨率要小于 0.5RPM，重復(fù)性要小于±0.5RPM，具有標(biāo)準(zhǔn)，并且無需再校準(zhǔn)；



5． 配套泵浦



5.1配套真空泵系統(tǒng)：無油型 220~240 伏交流，50/60 赫茲；



5.2真空吸附范圍 25?28 英寸汞柱 (~635?711 毫米汞柱)可調(diào)節(jié)，抽速不小于 4.5 SCFM (0.11 立方米/分鐘) ；



6． 系統(tǒng)附件



6.1*免費(fèi)贈送基于 Windows 的操作軟件；



6.2水平測試儀；



6.3兩袋密封圈；



*配有兩套可換的廢液接收單元；



四.設(shè)備運(yùn)行條件



4?1．設(shè)備外圍條件要求



1. 環(huán)境要求



a) 無塵室 1000 級或者



b) 溫濕度 溫度：22±3°C°C

濕度：45 ~ 70%

c) 安裝維護(hù)距離 與其他設(shè)備或者墻面距離≥30cm



d) 設(shè)備尺寸以及重量 長寬高：420mm x 380 mm x 290mm

重量：15kg



2. 電力要求 220 V±10%, 16 A, 50 Hz

3. 動力要求



a) 真空 25~28 Inches Hg

b) 氮?dú)?60?70 PSI

c) 干燥空氣 60?70 PSI





五.售后服務(wù)



5?1. 設(shè)備保修期為設(shè)備驗(yàn)收合格后 1 年(保修期內(nèi)免費(fèi)提供非人為因素?fù)p



壞的備件及服務(wù))，并長期提供支持。



5?2 機(jī)器發(fā)生故障時,供方在 24 小時內(nèi)明確回復(fù)。



5?3 如果未能解決問題,供方工程師應(yīng)在 2 個工作日內(nèi)與用方達(dá)成故障解決



方案。



5?4 設(shè)備保修期內(nèi)，損壞的備件原則上賣方應(yīng)在 1 個工作日內(nèi)明確回復(fù)備



件的交貨期限。并當(dāng)供方倉庫有備件庫存時,在 1 個工作日內(nèi)寄出。



5?5 保修期結(jié)束后，供方應(yīng)在收到買方定單后 1 個工作日內(nèi)明確回復(fù)備件



的交貨期限。



5?6 保修期結(jié)束后，供方應(yīng)惠供應(yīng)相關(guān)備件。涉及的相關(guān)服務(wù)盡量



免費(fèi)解決，不可避免的收費(fèi)項(xiàng)目，賣方應(yīng)提供惠，屆時協(xié)商解決。



5?7 供方*向用方長期惠供應(yīng)設(shè)備相關(guān)的耗材。



5?8 售后服務(wù)，人員安排由雙方協(xié)商確定。