凈化電子廠凈化工程潔凈度檢測(cè)項(xiàng)目和標(biāo)準(zhǔn)--天津中達(dá)檢測(cè)濟(jì)南分公司   電子無(wú)塵車(chē)間后，為電子無(wú)塵車(chē)間空調(diào)凈化系統(tǒng)軟件的電加熱器出示空氣清新和過(guò)熱關(guān)閉電源維護(hù)(假如應(yīng)用點(diǎn)增濕器，應(yīng)出示沒(méi)有水維護(hù))。嚴(yán)寒氣溫地區(qū)應(yīng)是新鮮空氣系統(tǒng)出示防寒保障措施。 性能無(wú)塵車(chē)間能夠?yàn)殡娮有酒纳a(chǎn)制造和生產(chǎn)制造造就高度清理的環(huán)境。只能在這類(lèi)環(huán)境下，才可以確保電子芯片的生產(chǎn)安全。

由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴(yán)格，主要以控制微粒和浮塵為主要對(duì)象，同時(shí)還對(duì)其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。檢測(cè)可根據(jù)電子廠房潔凈標(biāo)準(zhǔn)對(duì)電子工業(yè)潔凈廠房進(jìn)行相關(guān)參數(shù)的監(jiān)測(cè)，為廠房的順利交付、生產(chǎn)工藝的改進(jìn)及產(chǎn)品的提供可靠的數(shù)據(jù)支持。

電子廠凈化工程潔凈度檢測(cè) 送風(fēng)口風(fēng)速米/秒： 1.孔板孔口3~5； 2.側(cè)送風(fēng)口： （1）貼附射流2~5； （2）非貼附射流同側(cè)墻下部回風(fēng)1.5~2.5，對(duì)側(cè)墻下部回風(fēng)1.0~1.5。

因?yàn)樵谶^(guò)于干燥的廠房?jī)?nèi)容易產(chǎn)生靜電，會(huì)損壞CMOS集成度。一般來(lái)說(shuō)，電子車(chē)間的溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對(duì)濕度應(yīng)控制在50-60之間（特殊潔凈車(chē)間有相關(guān)溫濕度規(guī)定）。此時(shí)，能有效消除靜電，讓人心情舒暢。芯片生產(chǎn)車(chē)間、集成電路潔凈室和磁盤(pán)制造車(chē)間是電子制造潔凈室的重要組成部分。

噪聲測(cè)量要求:高度距離地面約1.2米,潔凈室面積在15平方以下者,可只測(cè)室中心1點(diǎn);面積在15平方米以上,還應(yīng)再測(cè)對(duì)角4點(diǎn),距側(cè)墻各1米,測(cè)點(diǎn)朝向各角  對(duì)于無(wú)塵室內(nèi)的換氣次數(shù)一般要求為:人均每小時(shí)換氣5次以上;人均每小時(shí)新風(fēng)量30立方米以上;每人每小時(shí)換風(fēng)量10立方米以上;每平方米允許噪聲強(qiáng)度85分貝以下(a計(jì)權(quán));溫濕度波動(dòng)小;光照度適宜等等。氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌。等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 重復(fù)以上過(guò)程，即可達(dá)到凈化目的。換氣次數(shù)：100000級(jí)≥15次；10000級(jí)≥20次；1000≥30次。壓差：主車(chē)間對(duì)相鄰房間≥5Pa平均風(fēng)速：10級(jí)、100級(jí)0.3－0.5m/s；溫度 冬季＞16℃；夏季 ＜26℃；波動(dòng)±2℃。溫度45－65％；GMP粉劑車(chē)間濕度在50％左右為宜；電子車(chē)間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。噪聲≤65dB（A）；新風(fēng)補(bǔ)充量是送風(fēng)量的10％－30％；照度300LX。

電子廠凈化工程潔凈度檢測(cè)  潔凈室的送風(fēng)量應(yīng)取以下三個(gè)較大值：保證電子制造廠潔凈室空氣潔凈度等級(jí)的送風(fēng)量；根據(jù)熱濕負(fù)荷計(jì)算確定電子廠潔凈室的送風(fēng)量；房間內(nèi)供應(yīng)的新鮮空氣量。

噪聲測(cè)量要求:高度距離地面約1.2米,潔凈室面積在15平方以下者,可只測(cè)室中心1點(diǎn);面積在15平方米以上,還應(yīng)再測(cè)對(duì)角4點(diǎn),距側(cè)墻各1米,測(cè)點(diǎn)朝向各角

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