原子力顯微鏡
Nators開發(fā)SEM兼容的原子力顯微鏡系統(tǒng)可提供在SEM或FIB內(nèi)進行原位三維形貌掃描和納米壓痕功能。該系統(tǒng)可兼容大部分SEM或FIB系統(tǒng),包括桌面型SEM。
產(chǎn)品特點:
· 納米級三維形貌掃描成像分辨率
· 亞納牛力納米壓痕分辨率
· 結構緊湊、優(yōu)異的SEM/FIB兼容性
· 可根據(jù)用戶具體需求提供定制化解決方案
產(chǎn)品應用:
· AFM-SEM綜合成像分析(結合AFM功能與SEM分析技術,例如EDX、EBSD)
· 納米材料力學分析
規(guī)格參數(shù)
概述
技術參數(shù)
樣品運動行程
10 mm
樣品定位分辨率
100 nm
掃描行程
5 um
掃描器運動分辨率
0.1 nm
力感應范圍
+/- 100 uN
力感應分辨率
0.5 nN
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原子力顯微鏡
Nators開發(fā)SEM兼容的原子力顯微鏡系統(tǒng)可提供在SEM或FIB內(nèi)進行原位三維形貌掃描和納米壓痕功能。該系統(tǒng)可兼容大部分SEM或FIB系統(tǒng),包括桌面型SEM。
產(chǎn)品特點:
· 納米級三維形貌掃描成像分辨率
· 亞納牛力納米壓痕分辨率
· 結構緊湊、優(yōu)異的SEM/FIB兼容性
· 可根據(jù)用戶具體需求提供定制化解決方案
產(chǎn)品應用:
· AFM-SEM綜合成像分析(結合AFM功能與SEM分析技術,例如EDX、EBSD)
· 納米材料力學分析
規(guī)格參數(shù)
概述
技術參數(shù)
樣品運動行程
10 mm
樣品定位分辨率
100 nm
掃描行程
5 um
掃描器運動分辨率
0.1 nm
力感應范圍
+/- 100 uN
力感應分辨率
0.5 nN