SENTECH 光譜橢偏儀-SENresearch

SENresearch是一款高性能、研發(fā)用寬波段光譜橢偏儀，主要應用是針對研發(fā)領域的薄膜、材料分析。

儀器介紹：

SENresearch寬波段光譜橢偏儀系列（光譜范圍190 nm –2500 nm），針對、滿足現(xiàn)代研究的需求，為任何應用都能夠提供的測量速度和度。

該系列光譜橢偏儀能夠測量薄膜厚度，折射率，吸收系數(shù)，并能夠描述材料性質，如材料組分、折射率梯度、表面和界面粗糙層、各向異性材料和多層膜。

    SENresearch光譜橢偏儀能夠分析并不理想的樣品，如退偏效應，非均勻樣品，散射和背板反射。

SENresearch由SpectraRay II軟件操作,  完善的軟件能夠測量數(shù)據(jù)，建模，擬合并作出橢偏測量、反射/透射測量的結果報告。

步進掃描分析器工作模式，消色差單色儀，電腦控制起偏器，UV-VIS波段快速二極管/CCD陣列探測器和NIR波段干涉儀調制探測器能提供快速測量和高信噪比，并為任何測量在全部psi, delta范圍（0-90 deg (psi) and 0 – 360 deg (delta).）都提供高的測量精度。

SENresearch系列光譜橢偏儀能夠測量反射光偏振狀態(tài)，修正由于非均勻樣品、粗糙表面、聚焦角度所導致的退偏效應。并能夠分析各向異性樣品和材料。

    SENTECH的地貌圖掃描選項，支持對復雜多層膜樣品在全波段快速測量并分析其均勻性（小每點5秒）。數(shù)據(jù)可按照設定的地圖圖案表現(xiàn)為2D-, 3D-或等高線圖，并能夠進行全面統(tǒng)計分析。

可選自動角度計，提供更大范圍入射角度(20-90 deg)。

可選低溫保持器用于溫度控制測量。