產(chǎn)品簡介

HCP421SV-MPS Instec的真空型mini臺式探針臺系列是可從外部移動探針進(jìn)行點(diǎn)針的桌上型探針臺，涵蓋多型號、多溫度范圍。同時(shí)允許溫控、探針電測試、光學(xué)觀察和樣品氣體環(huán)境控制。探針臺上蓋與底殼構(gòu)成一個(gè)可抽真空的密封腔，亦可內(nèi)充入氮?dú)獾缺Ｗo(hù)氣體，來防止樣品在負(fù)溫下結(jié)霜，或高溫下氧化。

功能特點(diǎn)

mimi型溫控探針臺，可集成到各種光學(xué)設(shè)備

可編程控溫，涵蓋-190℃~1000℃（具體由型號而定）

適用 10 mm ~ 50 mm 晶圓和器件

可抽真空的腔體，亦可充入保護(hù)氣體使用

獨(dú)立的四個(gè)探針，可從設(shè)備外部移動探針進(jìn)行點(diǎn)針

可從溫控器或電腦軟件控制，可提供軟件SDK

*可做定制或改動，詳詢上海恒商

溫控參數(shù)

溫度范圍

-190℃~400℃（負(fù)溫需配液氮制冷）

加熱塊材質(zhì)

銀

傳感器/溫控方式

升溫速率

100Ω鉑RTD / PID控制（含LVDC降噪電源）

120℃/min（at 100℃）

溫控速度

±0.01℃/min

溫度分辨率

0.01℃ RTD傳感器

溫度穩(wěn)定性

±0.05℃（>25℃），±0.1℃（<25℃）

軟件功能

可設(shè)溫控速率，可設(shè)溫控程序，可記錄溫控曲線

電學(xué)參數(shù)

探針

默認(rèn)為錸鎢材質(zhì)的彎針探針

探針座

可從外部XYZ移動的探針臂

粗調(diào)模式+微調(diào)模式，微調(diào)行程2mm

點(diǎn)針

從外部移動點(diǎn)針，每個(gè)探針座都可點(diǎn)到樣品區(qū)上任意位置

探針接口

默認(rèn)為BNC接頭，可選三同軸接口

樣品臺面電位

默認(rèn)為電接地，可選電懸空（作背電極），可選三同軸接口

光學(xué)參數(shù)

適用光路

反射光路

窗片

可拆卸與更替的窗片

物鏡工作距離

12 mm  *截面圖中WD

上蓋窗片觀察

窗片范圍φ50mm，視角±40°  *截面圖中θ1

負(fù)溫下窗片除霜

吹氣除霜管路

結(jié)構(gòu)參數(shù)

適用樣品

10 mm ~ 50 mm 直徑 （標(biāo)準(zhǔn)）

樣品腔高

8 mm

探針座

可從外部XYZ移動的探針臂

粗調(diào)模式+微調(diào)模式，XY粗調(diào)20mm

XY微調(diào)行程10mm,Z微調(diào) 3mm

氣氛控制

真空腔，也可充入保護(hù)氣體

外殼冷卻

可通循環(huán)水，以維持外殼溫度在常溫附近

臺體尺寸/重量

300 mm x 300 mm x 40 mm / 4kg

配置列表

基本配置

真空型臺式探針臺、mK2000B溫控器

可選配件

安裝支架、液氮制冷系統(tǒng)、外殼循環(huán)水冷系統(tǒng)、顯微鏡頭、

真空系統(tǒng)、測試源表、三同軸BNC、臺面電懸空、樣品接電引線

可選型號

TP102SV-MPS

溫度范圍 -40℃ ~ 180℃，樣品區(qū),40mm*40mm

HCP421SV-MPS

溫度范圍 -190℃ ~ 400℃，樣品區(qū) 28mm*30mm

HCP402SV-MPS

溫度范圍 -190℃ ~ 400℃，樣品區(qū) 50mm*50mm

HP1000SG-MPS

溫度范圍 35℃ ~ 1000℃，樣品區(qū) 25mm*25mm,氣密腔室

定制型號

按客戶需求定制，適用300mm晶圓樣品

典型應(yīng)用

表征薄膜、二維材料、納米材料和分子/有機(jī)材料器件的電性能測試

需要加熱塊表面電接地、接同軸BNC接口、三同軸BNC接口的

需要鎢錸探針、鈹銅探針或其他材料的探針的

需要從外部對臺體內(nèi)探針進(jìn)行XYZ移動的

晶圓、半導(dǎo)體器件、集成電路、印刷電路板、光伏板、LCD/LED測試

測量IV和CV特性、擊穿電壓、漏電流、電阻、介電常數(shù)和二極管效率