Parylene在MEMS（微電子機(jī)械系統(tǒng)）領(lǐng)域的應(yīng)用在90 年代后期得到了快速的發(fā)展, Parylene由于其較低的楊氏模量和液/氣滲透率、無(wú)應(yīng)力均勻覆蓋性和化學(xué)惰性, 廣泛應(yīng)用在微流體器件中, 如Parylene 微閥、質(zhì)譜分析的Parylene 微噴嘴 、自適應(yīng)流程控制的Parylene 撲翼、Parylene電泳微通道、Parylene氣相色譜柱 、Parylene微泵等。

經(jīng) Parylene 涂敷過(guò)的集成電路芯片，其25um細(xì)直徑連接線，連接強(qiáng)度可提高 5-10 倍，保證產(chǎn)品可靠性。同時(shí)Parylene有很好的隔絕水氣的作用，減少產(chǎn)品受水氣影響而損壞或者不穩(wěn)定。