POSIFA   PVC1000系列微型皮拉尼真空傳感器PVC3001PVC3004

PVC1000系列MEMS微型皮拉尼-真空傳感器提供了性的真空測量解決方案，不但體積小，而且具有低功耗、長壽命、低現(xiàn)場維護(hù)和低成本的優(yōu)點(diǎn)。依據(jù)氣體熱導(dǎo)率與低真空范圍的壓力成正比的原理，博思發(fā)科技公司的微型皮拉尼真空傳感器測星加熱元件電阻值的微小變化，這一變化產(chǎn)生的原因是熱量傳遞到周圍氣體而引起的溫度改變，與氣體熱導(dǎo)率相關(guān)。加熱元件(測量電阻)由位于絕熱膜上的鉑薄膜電阻構(gòu)成。絕熱膜懸浮在一個(gè)微加工的空腔上，空腔底部表面與絕熱膜平行，以確保測量熱導(dǎo)率。因?yàn)橹恍枰倭繗怏w(腔內(nèi)體積)就可以實(shí)現(xiàn)高精度的測量，所以博思發(fā)科技公司的微型皮拉尼真空傳感器具有低功耗和快速響應(yīng)時(shí)間。傳感器芯片上有一個(gè)參考電阻，具有與測量電阻相同的溫度系數(shù)(TCR)，可用來做環(huán)境溫度補(bǔ)償。
采用MEMS技術(shù)生產(chǎn)的微型皮拉尼
真空傳感器,在小型化的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)了高可靠性、低成本、使用方便和低功耗，PVC1000系列產(chǎn)品已成為行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。采用PVC1000系列傳感器可以幫助客戶改進(jìn)現(xiàn)有產(chǎn)品并開發(fā)出創(chuàng)新產(chǎn)品。
T特點(diǎn):
低功耗<5 mw
快速響應(yīng)時(shí)間<5 mSec
適用低至0.1 cm3的氣體體積長期穩(wěn)定
可浸入溶劑中清洗,延長使用壽命應(yīng)用:
密閉真空系統(tǒng)的泄漏檢測真空包裝機(jī)
便捷式數(shù)字真空計(jì)大額定值:
工作溫度:-25至85°C存儲溫度:-40
至90c
沖擊: