OFS系列層流流量計(jì)能方便的用于各種氣體流量的測(cè)量，根據(jù)工廠(chǎng)空氣數(shù)據(jù)，再使用氣體兼容性換算系數(shù)就能換算出各種氣體的流量。這種流量計(jì)只適用于清潔、干燥、非腐蝕性和不能離子化的氣體，如有液體進(jìn)入會(huì)損壞內(nèi)部的傳感器。僅用于各種氣體: 空氣、氬氣、氦氣、氮?dú)?、二氧化碳?xì)怏w、天然氣、蒸煮氣、氫氣、氧氣、混合氣體。

OFS系列的層流流量計(jì)能夠測(cè)量大部分氣體的質(zhì)量流量，流量計(jì)內(nèi)藏一個(gè)的節(jié)流元件，被稱(chēng)為層流元件（LFE），通過(guò)測(cè)量這個(gè)層流元件上的壓力降來(lái)測(cè)量流量。節(jié)流元件是一些平行板路徑，氣體分子受力通過(guò)整個(gè)路徑，即流量計(jì)的全部工作通道。與其它節(jié)流元件產(chǎn)生的壓差和流量成平方關(guān)系不同，層流流量計(jì)上壓力降與流量是成線(xiàn)性關(guān)系。流路系列的質(zhì)量流量計(jì)使用壓力傳感器和溫度傳感器對(duì)氣體的密度進(jìn)行補(bǔ)償，與差壓變送器（容積流量變送器）輸出信號(hào)結(jié)合能計(jì)算得到氣體的質(zhì)量流量。

技術(shù)規(guī)格

n  大壓力: 8.6BAR(100PSIG)

n  流量范圍: 0-500SCCM~0-1000SLPM

n  量程比: 100:1

n  所有的流量是以空氣為基準(zhǔn)，對(duì)于其他氣體乘一個(gè)系數(shù)

n  本體/接口尺寸：基于滿(mǎn)量程量

n  材質(zhì): 陽(yáng)極氧化鋁(標(biāo)配)，316SS(可選，但交貨時(shí)間更長(zhǎng))

n  精度: 1-2%對(duì)于空氣，取決于量程。對(duì)于其他氣體，取決應(yīng)用氣體種類(lèi)

n  重復(fù)性: +/-0.25%滿(mǎn)量程

n  響應(yīng)時(shí)間： 5~50mS(根據(jù)輸出類(lèi)型)

n  線(xiàn)性化: 所有輸出已經(jīng)與流量線(xiàn)性化

n  壓力降(BAR) : 0.14(通常)0.24(大)

n  工作溫度: -25~+80^oC

n  殼體: IP65(TYPE 4)

n  : CE & CSA

n  本安 (IS): 用于危險(xiǎn)地點(diǎn)應(yīng)用(僅有4-20mA輸出，CSA & CE )

n  氧清洗: 可選，特殊應(yīng)用

n  顯示: 4位，流量、累積量、溫度或壓力

n  累積量:二組，三位數(shù)，替換為壓力顯示(或使用Mensah累積儀)

n  輸出: 4-20mADC(2-wire2線(xiàn)，回路供電)，RS232，0-5或0-10VDC，頻率或脈沖.

n  報(bào)警: 可選，二路PNP集電極開(kāi)路

n  電池供電: 可選，9 VDC，沒(méi)有輸出