英國(guó)真尚有ZNXsensor高精度納米位移傳感器是通過改變電容兩極板間的電荷實(shí)現(xiàn)測(cè)量的。常用的方法有三種：變極板間距離的變極距型；改變極板面積的變面積型；還有就是改變介質(zhì)介電常數(shù)的變介質(zhì)型。現(xiàn)在所介紹的是變極距型的高精度納米位移傳感器。

 

ZNXsensor高精度納米位移傳感器應(yīng)用領(lǐng)域：

壓電微位移、振動(dòng)臺(tái)，電子顯微鏡微調(diào)，天文望遠(yuǎn)鏡鏡片微調(diào)，精密微位移測(cè)量等。

 

該高精度納米位移傳感器是一種非接觸式的電容位移傳感器；兩個(gè)傳感器板形成一個(gè)平行板電容器，每個(gè)傳感器可用在兩個(gè)不用的測(cè)量范圍；納米分辨率；零磁滯。

ZNXsensor高精度納米位移傳感器主要特點(diǎn)：

量程20～1250μm；

分辨率<0.1nm；零磁滯；

線性高0.02%；

頻帶可調(diào)：50～5000Hz；靈敏度可調(diào)；

真空兼容選項(xiàng)；

 

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http://www.51sensors.com/prod_detail_792.html

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英國(guó)真尚有集團(tuán)

深圳市真尚有科技有限公司

： / 26528011/26528012

：/26435640

 

技術(shù)規(guī)格：

傳感器型號(hào)

ZNXA

ZNXB

ZNXC

ZNXD

 

小量程μm

-

20

100

250

 

靈敏度μm/V

-

2

10

25

 

噪音nm rms Hz^-1/2

-

<0.001

<0.005

<0.013

 

溫漂nm/K

-

1

4.4

11

 

線性度%

-

<0.08

<0.03

<0.06

 

大量程μm

50

100

500

1250

 

靈敏度μm/V

5

10

50

125

 

噪音nm rms Hz^-1/2

<0.08

<0.015

<0.075

<0.188

 

溫漂nm/K

2.2

4.4

22

55

 

線性度%

<0.08

<0.08

<0.05

<0.06

 

頻響Hz

50/500/5000

 

控制器型號(hào)

NS2000

NM2110

S2000和NS模塊

NM3330

 

傳感器通道大個(gè)數(shù)

1

1

14

3

 

供電

±15V，70mA

90～130V或220～260V

90～110V或110～130V或220～260V

90～260V

 

模擬輸出V

±5

±5

±5

 

 

數(shù)字輸出

 

 

16位(可選)

7位浮點(diǎn)數(shù)

 

頻響KHz

5

5

5

12.5

 

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