價格
電議
型號
C30M
品牌
邁測儀器
所在地
北京市 通縣
更新時間
2019-03-25 23:30:01
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C50型氣體質(zhì)量流量控制器和
概要
C30型氣體質(zhì)量流量控制器和C30M型氣體質(zhì)量流量計采用毛細鋼管傳熱和溫差量熱原理測量氣體的質(zhì)量流量，其中質(zhì)量流量控制器可以對氣體的質(zhì)量流量進行的控制。由于溫差量熱只和氣體的質(zhì)量流量相關(guān)，所以氣體的溫度和壓力變化不會影響到測量值。
本型號產(chǎn)品的滿量程可以在 5SCCM到 10SLM的范圍內(nèi)任意定制，高，是同類產(chǎn)品中價格低的一款。
特點
國內(nèi)同類產(chǎn)品價格低
穩(wěn)定性和可靠性高
±0.2％F.S.的高重復精度
滿量程可以在 5SCCM到 10SLM的范圍內(nèi)任意定制
可應(yīng)用于大多數(shù)腐蝕性氣體
同類產(chǎn)品尺寸小
安裝尺寸國際兼容
應(yīng)用
真空鍍膜設(shè)備
微反應(yīng)裝置
晶體制備設(shè)備
混氣配氣設(shè)備
燃燒測試設(shè)備
氣相色譜儀及其它分析儀器
氣體：氮氣(N2)
溫度和壓力： 溫度—273.15 K（0℃）
氣壓—101325 Pa（760mm Hg）
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基本型號 |
C30 |
C30M |
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流量規(guī)格 eq oac(○,1)1(N2) |
0～5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM |
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0～1,2,3,5,10 SLM |
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調(diào)節(jié)閥類型 |
常閉式 |
無 |
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量程比 |
(5～100)％F.S. 或20:1 |
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流量分辨率 |
0.1％F.S. |
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準確度 |
±1.5％F.S. |
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線性 |
±1.5％F.S. |
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重復精度 |
±0.2％F.S. |
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響應(yīng)時間 |
≤6sec |
≤2sec |
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工作壓差范圍 |
0.1～0.5MPa (≤10SLM) |
0.02MPa～3MPa |
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大耐壓 |
3MPa |
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工作環(huán)境溫度 |
5～45℃ |
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電纜接頭 |
DB15pin(針形) |
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輸入輸出信號 |
0～+5.00V (輸入阻抗大于100kΩ，輸出電流不大于3mA) |
0～+5.00V (無輸入信號，輸出電流不大于3mA) |
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供電電源要求 |
+15VDC(50mA),-15VDC(200mA) |
+15VDC(50mA),-15VDC(50mA) |
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對外單點泄漏率 |
≤1×10-8Pa·m3/S(He) |
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介質(zhì)接觸材質(zhì) |
316，316L，密封填料 |
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密封材料 |
丁腈橡膠NBR，三元乙丙橡膠EPDM，氯丁橡膠CR，硅橡膠VMQ, |
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管道接頭尺寸 |
VCR型接頭：1/4” |
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雙卡套型接頭：1/8”、1/4”、3/8”或φ3、φ6、φ8、φ10 mm |
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外形尺寸 |
長×寬×高：127×30×100 mm |
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凈重量 |
0.88kg |
0.72kg |
注 eq oac(○,1)1：滿量程流量不限于表中列出的流量規(guī)格，可以在5SCCM～10SLM范圍內(nèi)任選，例如：123SCCM。
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